湿法RCA清洗机

设备主要用途:RCA清洗工艺是一种在半导体制程过程中被广泛应用的工艺,是去除硅片表面各类玷污的方法

设备结构
主体:设备为半敞开式，主体使用进口 WPP15 和 10mm 厚板材，结构设计充分考虑工作在酸腐蚀环境，坚固耐用，双层防漏，机台底盘采用德国产瓷白 PP板，热焊接 而成，可工作在酸碱腐蚀环境中.

骨 架:钢骨架+PP 德国劳施领板组合而成，防止外壳锈蚀.

安全门:前侧下开透明安全门，脚踏控制.

工艺槽:模组化设计，腐蚀槽、纯水冲洗槽放置在一个统一的承漏底盘中.底盘采用满焊接工艺加工而成，杜绝机台的渗漏危险.

管路系统:位于设备下部，所有工艺槽、管路、阀门部分均有清晰的标签注明；药液管路采用 PFA 管，纯水管路采用白色 NPP 喷淋管，化学腐蚀槽废液、冲洗废水通过专用 管道排放.

电气保护:电器控制、气路控制和工艺槽控制部份在机台顶部电控区，电气元件有充分的防护以免酸雾腐蚀以保障设备性能运行稳定可靠；所有可能与酸雾接触的电气及线路 均经 PFA 防腐隔绝处理，电气柜 CDA/N2 充气保护其中的电器控制元件.

排 风:后部排风和下沉式设计，风量可调节，对操作员有安全保护.

送风:设备顶部有 FFU 百级净化送风装置，设备沿前侧板镶嵌入墙体，后上部送风

水汽管:机台前部配备有 PTFE 纯水管和 PTFE 氮气管各 1 只置于右侧，方便操作员手工清洗槽体或工件.

控制系統
PLC可程式控制器（欧姆龙）＋PROFACE 彩色人机界面操作。
模块化软件、硬件设计，减少故障几率，便于安装和维护；
空气开关、断路器、电磁阀、按钮、氮气调压阀，针阀、三色警灯等均采用SMC、施耐德、和泉、松下、正泰等电气产品，安全可靠；
配备漏电断路保护、隔离变压器、漏液检测、EMO开关等安全保护装置；
所有程序参数可修改，操作模式可分为自动/手动，加液和花篮传递为手动；
电路区功能分块，强电、弱电块，便于维护；
电气控制部分均有清晰的标签注明
具密码保护功能以避免操作人员误改参数：
Password-1.启动及可进入自动模式內容。
Password-2可进入手动模式。
Password-3可进入编辑模式修改制程参数。