产品详情
列真公司在半导体光罩检测设备上积累了独自技术， 主产品 LODAS ™系列具有日本专利权的激光检测技术，可同时探测收集激光的反射光，透射光以及共聚焦，可一次性检查第三代半导体 SIC 等材料表面，背面和内部的缺陷，可探测小缺陷为100 纳米，主要用于半导体光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、内部、背面的缺陷检查 。将此项技术运用于第三代半导体材料的缺陷检查，将提升量产成品率将具有重要意义。
应用: SiC、GaN
半导体光罩（石英玻璃与涂层）、
石英Wafer Si Wafer
HDD Disk LT Wafer
蓝宝石衬底、
EUV光罩、
光罩防尘膜
可全面检测 表面、内部、背面的缺陷
外延缺陷
胡萝卜型缺陷
彗星缺陷
三角缺陷
边缘缺陷
衬底缺陷
微管缺陷
层错缺陷
六方空洞缺陷
产品关键词：
显微镜
/ 检测晶圆缺陷设备
/ 检测晶圆缺陷仪器
产品所属分类： 仪器仪表/ 光学仪器/ 显微镜
产品所属分类： 仪器仪表/ 光学仪器/ 显微镜
企业介绍
欧屹科技，是一家以光电产品为核心业务的专业代理商和服务商，以我们多年的行业经验，为客户引进国外先进的光电器件,光电仪器，光电系统等优良设备,并提供专业的技术支持和售后服务！我们具有丰富国际贸易经验；我们努力协调各方面的行动；我们以全体用户的利益为重，尽努力把欧屹科技建设成为值得您信赖的公司。 北京欧屹科技有限公司 通信地址：北京昌平区回龙观西大街115号龙冠大厦612室 邮编：102208 总机：010－5126 5468 传真：010－5152 8178 香港欧屹科技有限公司 通讯地址：香港上环皇后大道中302号北海商业大厦8楼 8/F., CNT Commercial Building, 302 Queen’s Road Central, Hong Kong.
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